S20/S21壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺為一維θz旋轉(zhuǎn)臺，產(chǎn)品體積小巧，大旋轉(zhuǎn)角度8.5mrad，承載能力達2kg，可帶動鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運動。

特性：

• θz旋轉(zhuǎn)

• 大旋轉(zhuǎn)角度8.5mrad

• 閉環(huán)定位精度高

• 響應(yīng)速度快

• 體積小巧

典型應(yīng)用

• 光路調(diào)整 • 干涉

• 光束掃描 • 計量

應(yīng)用實例

   S21系列壓電旋轉(zhuǎn)臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用， 組成多軸精密壓電定位臺，用于多維精密直線與旋轉(zhuǎn)定位操作。

小體積、高分辨率、高精度

     S21θz一維旋轉(zhuǎn)臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，可以實 現(xiàn)大8.5mrad的旋轉(zhuǎn)，體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，尺寸僅 為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。

   采用壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，臺體采用柔性鉸鏈機 構(gòu)，無摩擦、無回差，可以實現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi) 置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實現(xiàn)微弧度的定位精 度，在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。

驅(qū)動控制方式

   S21為θz一維壓電旋轉(zhuǎn)臺，單通道壓電控制器即可驅(qū)動控制，閉 環(huán)版本P21配套E01系列閉環(huán)控制器，實現(xiàn)θz高精度旋轉(zhuǎn)定位控制。

N20/P21壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。